9當前位置：HORIBA科學儀器事業部>>橢圓偏振光譜儀>> In-situ seriesIn-situ series在線橢偏儀
在線橢偏儀儀器介紹
在鍍膜或刻蝕的過程中，實時監測樣品膜的膜厚以及光學常數（n,k）變化。
在線橢偏儀技術參數
·可實現快速、實時在線監測樣品膜層變化
主要特點
將激發和探測頭引入生產設備，可實現:
· 動態模式:實時監測膜厚變化
· 光譜模式：監測薄膜的界面和組分
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